精密UVW對位平臺 CY01-350RS 行程±5×±5,±2°

特性介紹：

采用了劃時代性模組結構的超薄型平臺

在基座、工作臺之間的四端平面裝上組合了 MINI STAGE XYθ軸滑臺組和特殊交叉滾柱軸承的模

組之獨特性?實現(xiàn)了超薄型結構。高剛性丶高精度

對于構成模組的 MINI STAGE XYθ軸滑臺組的特殊交叉滾柱施加了預壓?達到高精度、高剛性的

結構。

超薄型、輕量化、中空結構

采用XYθ模組化結構實現(xiàn)了無中座丶薄而輕的機構，可作為光學式檢查裝置或導通測試時使用。

潤滑系統(tǒng)

在各運動軌道加入潤滑系統(tǒng)?確保潤滑脂補充·提高對位平臺使用的壽命及精度。尺寸齊全適用各種機型運用

工作臺面尺寸100mm~1500mm,為了可以對應更大的精度荷載可借由増加從動模組之數(shù)量來達成

產(chǎn)業(yè)應用介紹：

◆面板貼合機

◆面板貼膜機

◆網(wǎng)版及3D網(wǎng)版印刷

◆玻璃倒角及磨邊設備

◆Wafer對位設備

◆P.C.D曝光設備

◆軟件裁切設備

◆半導體設備

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