精密UVW對(duì)位平臺(tái) CY00-160LC 行程±3×±3,±2°

特性介紹：

采用了劃時(shí)代性模組結(jié)構(gòu)的超薄型平臺(tái)

在基座、工作臺(tái)之間的四端平面裝上組合了 MINI STAGE XYθ軸滑臺(tái)組和特殊交叉滾柱軸承的模

組之獨(dú)特性?實(shí)現(xiàn)了超薄型結(jié)構(gòu)。高剛性丶高精度

對(duì)于構(gòu)成模組的 MINI STAGE XYθ軸滑臺(tái)組的特殊交叉滾柱施加了預(yù)壓?達(dá)到高精度、高剛性的

結(jié)構(gòu)。

超薄型、輕量化、中空結(jié)構(gòu)

采用XYθ模組化結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了無(wú)中座丶薄而輕的機(jī)構(gòu)，可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y(cè)試時(shí)使用。

潤(rùn)滑系統(tǒng)

在各運(yùn)動(dòng)軌道加入潤(rùn)滑系統(tǒng)?確保潤(rùn)滑脂補(bǔ)充·提高對(duì)位平臺(tái)使用的壽命及精度。尺寸齊全適用各種機(jī)型運(yùn)用

工作臺(tái)面尺寸100mm~1500mm,為了可以對(duì)應(yīng)更大的精度荷載可借由増加從動(dòng)模組之?dāng)?shù)量來(lái)達(dá)成

產(chǎn)業(yè)應(yīng)用介紹：

◆面板貼合機(jī)

◆面板貼膜機(jī)

◆網(wǎng)版及3D網(wǎng)版印刷

◆玻璃倒角及磨邊設(shè)備

◆Wafer對(duì)位設(shè)備

◆P.C.D曝光設(shè)備

◆軟件裁切設(shè)備

◆半導(dǎo)體設(shè)備

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