UVW對位平臺介紹：

1、這是一種可以實現(xiàn)以平面上任意一點為中心，進行旋轉(zhuǎn)運動的裝置，并可沿著任意的方向平移。

2、此平臺和視覺CCD糾偏系統(tǒng)對接在一起，可以很快完成高精度的糾偏工作，重復(fù)定位精度一般可達±1μm；

下述算法由平臺相對移動量可算出各執(zhí)行器(U?V?W)的移動量。

回轉(zhuǎn)中心(at,bt)指的是相對于底座的絕對坐標。

【算法所需的值】

各執(zhí)行器pin 的初始坐標(固有值)

Ｕ執(zhí)行器：(Ux，Uy)

Ｖ執(zhí)行器：（Vx，Vy）

Ｗ執(zhí)行器：（Wx，Wy）

回轉(zhuǎn)中心 ：（at，bt）

現(xiàn)臺面位置 (絕對坐標)：（X，Y，θ）

臺面移動量 (相對坐標) ：（X′，Y′，θ′）

【算式】

Ｕ執(zhí)行器移動量

St(u)=(（Ux－at）×（sin(θ′＋θ)tan(θ′＋θ)＋cos(θ′＋θ)）＋（bt＋(Y′＋Y)－Uy）× tan(θ′＋θ)＋at＋(X′＋X)－Ux)－(（Ux－at）×（sinθtanθ＋cosθ）＋（bt＋Y－Uy）×tanθ＋at＋X－Ux)

Ｖ執(zhí)行器移動量

St(v)=(（Vy－bt）×（sin(θ′＋θ)tan(θ′＋θ)＋cos(θ′＋θ))＋（Vx－at－(X′＋X)）×tan(θ′＋θ)＋bt＋(Y′＋Y)－Vy)－(（Vy－bt）×（sinθtanθ＋cosθ）＋（Vx－at－X）×tanθ＋bt＋Y－Vy)

Ｗ執(zhí)行器移動量

St(w)=(（Wy－bt）×（sin(θ′＋θ)tan(θ′＋θ)＋cos(θ′＋θ)）＋（Wx－at－(X′＋X)）× tan(θ′＋θ)＋bt＋(Y′＋Y)－Wy)－(（Wy－bt）×（sinθtanθ＋cosθ）＋（Wx－at－X）×tanθ＋bt＋Y－Wy)

移動后臺面位置的絕對坐標

X=X (移動前 X 絕對坐標) ＋X′

Y=Y (移動前 Y 絕對坐標) ＋Y′

θ=θ (移動前θ絕對坐標) ＋θ′

【參考例】

依照表①～④順序，求得臺面移動時各執(zhí)行器(U、V、W)的移動量。

設(shè)置回轉(zhuǎn)中心(at,bt)為(10mm?20mm)。

① 的臺面位置視為原點位置。

『從①向②移動』

Ｕ執(zhí)行器相對移動量

St(u)=(（67.5－10）×（sin(1＋0)tan(1＋0)＋cos(1＋0)）＋（20＋(2＋0)－(－59)）× tan(1＋0)＋10＋(1＋0)－67.5)－(（67.5－10）×（sin0tan0＋cos0）＋（20＋0－(－59)）×tan0＋10＋0－67.5)＝2.4226mm

Ｖ執(zhí)行器相對移動量

St(v)=(（67.5－20）×（sin(1＋0)tan(1＋0)＋cos(1＋0))＋（－59－10－(1＋0)）× tan(1＋0)＋20＋(2＋0)－67.5)－(（67.5－20）×（sin0tan0＋cos0）＋（－59－10－0）×tan0＋20＋0－67.5)＝0.7853mm

Ｗ執(zhí)行器相對移動量

St(w)=(（67.5－20）×（sin(1＋0)tan(1＋0)＋cos(1＋0)）＋（59－10－(1＋0)）× tan(1＋0)＋20＋(2＋0)－67.5)－(（67.5－20）×（sin0tan0＋cos0）＋（59－10－0）×tan0＋20＋0－67.5)=2.8451mm

向②移動時的臺面位置 (絕對坐標)

X= 0 ＋ 1 = 1mm

Y= 0 ＋ 2 = 2mm

θ= 0 ＋ 1 = 1°

『②向③移動』

Ｕ執(zhí)行器相對移動量

St(u)=(（67.5－10）×（sin((－2)＋1)tan((－2)＋1)＋cos((－2)＋1)）＋（20＋(1＋2)－(－59)）×tan((－2)＋1)＋10＋(2＋1)－67.5)－(（67.5－10）×（sin1tan1＋cos1）＋（20＋2－(－59)）×tan1＋10＋1－67.5)=－0.8452mm

Ｖ執(zhí)行器相對移動量

St(v)=(（67.5－20）×（sin((－2)＋1)tan((－2)＋1)＋cos((－2)＋1))＋（－59－10－(2＋1)）×tan((－2)＋1)＋20＋(1＋2)－67.5)－(（67.5－20）×（sin1tan1＋cos1）＋（－59－10－1）×tan1＋20＋2－67.5)=3.4787mm

Ｗ執(zhí)行器相對移動量

St(w)＝(（67.5－20）×（sin((－2)＋1)tan((－2)＋1)＋cos((－2)＋1)）＋（59－10－(2＋1)）×tan((－2)＋1)＋20＋(1＋2)－67.5)－(（67.5－20）×（sin1tan1＋cos1）＋（59－10－1）×tan1＋20＋2－67.5)=－0.6408mm

向③移動時臺面位置 (絕對坐標)

X = 1 ＋ 2 = 3mm

Y = 2 ＋ 1 = 3mm

θ = 1 ＋ (－2) = －1°

『③向④的移動』

Ｕ執(zhí)行器相對移動量

St(u)=(（67.5－10）×（sin(4＋(－１))tan(4＋(－１))＋cos(4＋(－１))）＋（20＋((－4)＋3)－(－59)）×tan(4＋(－１))＋10＋((－5)＋3)－67.5)－(（67.5－10）×（sin－1tan－1＋cos－1）＋（20＋3－(－59)）×tan－1＋10＋3－67.5)=0.5893mm

Ｖ執(zhí)行器相對移動量

St(v)=(（67.5－20）×（sin(4＋(－１))tan(4＋(－１))＋cos(4＋(－１)))＋（－59－10－((－5)＋3)）×tan(4＋(－１))＋20＋((－4)＋3)－67.5)－(（67.5－20）×（sin－1tan－1＋cos－1）＋（－59－10－3）×tan－1＋20＋3－67.5)=－8.7101mm

Ｗ執(zhí)行器相對移動量

St(w)=(（67.5－20）×（sin(4＋(－１))tan(4＋(－１))＋cos(4＋(－１))）＋（59－10－((－5)＋3))×tan(4＋(－１))＋20＋((－4)＋3)－67.5)－(（67.5－20）×（sin－1tan－1＋cos－1）＋（59－10－3）×tan－1＋20＋3－67.5)=－0.4663mm

向④移動時臺面位置 (絕對坐標)

X = 3 ＋ (－5) = －2mm

Y = 3 ＋ (－4) = －1mm

θ = －1 ＋ 4 = 3°

點擊跳轉(zhuǎn)→UVW對位平臺產(chǎn)品